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- 产品概述
- 技术规格
FLY-MX12显微镜光学技术在亮度 、对比度和可操作性方面达到z新高度， 适合晶圆或者显示面板的高级检查
FLY-MX12(落射照明型)
z大样品尺寸： ø300mm晶片
载物台行程：350 × 300mm
放大倍率：50X - 1000X
(依目镜和物镜而定)
高对比度，几乎无杂光
为z大程度地减少杂光现象,物镜涂有特殊涂层,其表面具有抗杂散光的性能。另外,目镜筒内部的反射次数 也减少了,进一步减小了出现杂光的可能性，同时获得了前所未有的高对比度。
半复消色差物镜
太阳半复消色差物镜实现了自然色彩高度再现，高透过率镜片和先进的镀膜技术保证获得高清晰图像
半复消色差物镜
太阳半复消色差物镜实现了自然色彩高度再现，高透过率镜片和先进的镀膜技术保证获得高清晰图像
调节手轮集中在机身前部
主要调节手轮和按钮均位于底座前部， 在观察样品的同时可进行快速、 方便的操作，长时间观察能z大程度地减轻疲劳。
防静电能力更强
机身、载物台、目镜筒和各调节手轮均涂有消静电涂层，提高了抗污染能力，防止样品因静电感应而受损，从而提高成品率。
诺玛斯基DIC观察法（选配）
采用单棱镜(Senarmont)系统，只 需在物镜转换器插入一个诺玛斯基棱镜， 即可以 任一倍率进行DIC观察。即使进行低倍率观察， DIC图像也同样清晰而鲜明， 几乎没有色阴影。 高对比度型DIC滑块能以更高的灵敏度形成DIC 图像。
X-Y微调操作手轮
X-Y微调操作手轮的固定位置*， 位于接近操作员之处， 这一特 性使操作员不必伸长手臂移动载物台。样品移动和对焦可由单 手在桌面上的完成，使操作员得以将注意力集中在样品观察上。
明场观察
无限远光学技术产生高亮度、高对比度的图像。
暗场观察
新开发的暗场照明光学技术极大地提高了图像亮 度，增强了检测样品的微小划痕和形态的能力。
配置 | |
光学系统 | 无限远色差校正光学系统 |
光学放大倍数 | 50倍-1000倍 |
落射照明器 | 进口明暗场反射照明器，带可变孔径光阑，视场光阑，中心可调 |
三目头 | 无限远铰链三通观察筒，瞳距调节：50mm~76mm，两档分光比双目:三目=100：0 |
目镜 | 高眼点大视野目镜SWH10X-H/23mm，视度可调 |
物镜 | 5倍明暗场半复消色差物镜 NA：0.15 WD：15mm |
10倍明暗场半复消色差物镜 NA：0.3 WD：8.4mm | |
20倍明暗场半复消色差物镜 NA：0.40 WD：11.9mm | |
50倍明暗场半复消色差物镜 NA：0.75 WD：3mm | |
100倍明暗场半复消色差物镜 NA：0.9 WD：1mm | |
调焦机构 | 低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程32mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统。 |
载物台 | 14*12英寸载物台，X、Y方向同轴调节；含快速移动装置 有效移动行程：356X305mm 透射光照明区域：356X284mm |
机架 | 反射型机架，选配透射光源 |
灯箱 | LED长寿命光源 |
相机 | 太阳630万彩色相机 |
软件 | 太阳显微图像软件 |
选配 | 长工作距离物镜、偏光、微分干涉、红外功能等功能 |
外观尺寸/重量 | 640*701*650mm(长*宽*高) / 约65KG |
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