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样品:晶圆
检测要求:内部杂质
方案:因为杂质在晶圆内部,无法通过可见光在表面识别,需通过红外透过晶圆成像检测
设备图片:
效果图片:
倒置金相显微镜 MA100N
正置金相显微镜 BX53M
金相显微镜 LV100ND
倒置金相显微镜 MA200
红外显微镜 BX53
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